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潔淨度分級

1963年，美國（guó）出（chū）了個潔淨室聯邦標準Fed Std 209。在209標準中，潔淨室按（àn）環境（jìng）中每立方英尺空間≥0.5μm的粉塵最大（dà）數（shù）量限度分成若（ruò）幹級（jí）別，如（rú）100級、10,000級、100,000級（jí）。我（wǒ）們過去的潔淨室標準也（yě）是按這種方法分級的（de）。
1999年，國際（jì）標準化（huà）組織（zhī）ISO頒布了潔淨室國際標準ISO14644-1《潔淨室與受控（kòng）潔淨環境（jìng），第一（yī）部分：空氣潔淨度分級》。ISO規（guī）定的（de）潔淨度等級以（yǐ）及（jí）傳統分級的具體（tǐ）數值見下表：

用公式（shì）表示上述指標：

Cn = 10N × (0.1/D)2.08

式中（zhōng）：Cn — 每立（lì）方（fāng）米（mǐ）空間最大（dà）允許大於某粒徑顆粒物（wù）的（de）數（shù）量濃度；

N  — ISO潔淨度分（fēn）級（jí）數（shù）；
D  — 顆粒物尺（chǐ）度，單位為微米（mǐ）；
0.1 — 常數（shù），單位為微米（mǐ）。

我們潔淨室標準新的修訂稿中（zhōng）采（cǎi）納了（le）ISO分（fēn）級。但（dàn）是，人們已（yǐ）經說慣了（le）“百（bǎi）級”、“萬級（jí）”、，它順口、易（yì）記，今後一段時間內，人（rén）們可能照（zhào）舊說下（xià）去，直到新（xīn）一代（dài）設計師們不再記得老的（de）分（fēn）級和英（yīng）製計量單位。

說潔淨度應該對應潔淨室的狀態：空態（新（xīn）建，空屋子（zǐ）），靜態（設備就位，無人（rén）員），動態（正（zhèng）常工（gōng）作（zuò））。具體（tǐ）工程所（suǒ）說的“潔淨度”是指哪種狀態，要由用戶（hù）與設計、供貨等方麵協議確定並明（míng）文規（guī）定。忘（wàng）記對狀態做規（guī）定，大家都會有（yǒu）空子可鑽。

附：GMP規（guī）定的潔淨度